[实用新型]一种基于MEMS技术的真空度检测电路有效
| 申请号： | 202120333908.X | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN214583805U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 赵帅;徐刚刚;余涛;彭凡;康红涛 | 申请（专利权）人： | 国网河南省电力公司方城县供电公司;国网河南省电力公司南阳供电公司;河南省朗硕电力科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 河南大象律师事务所 41129 | 代理人： | 张继锋 |
| 地址： | 473200 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基于MEMS技术的真空度检测电路，包括供电模块、压力传感器、单片机最小系统、人机交互模块及存储模块；所述单片机最小系统连接有所述压力传感器、所述存储模块；所述人机交互模块通过RS485模块与所述单片机最小系统连接；所述供电模块用于向所述基于MEMS技术的真空度检测电路供电；本实用新型采用压力传感器对真空度进行检测，不易受环境温度影响，能够准确的检测真空度，并将真空度显示在人机交互模块上，便于操作者读数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 真空 检测 电路 | ||
【主权项】：
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