[实用新型]炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉有效
| 申请号： | 202120341225.9 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN214992011U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 姚泰;宋波;于永澔;张宇民 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 李旭亮 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种炉盖组件及具有其的碳化硅晶体生长炉。炉盖组件包括：盖板，盖板形成有液槽，液槽的底壁上设置有支撑件；护套，护套支撑于支撑件上并盖住液槽，以使护套与盖板之间形成液体流道，支撑件将液体流道分成第一流道以及第二流道，且支撑件设有连通第一流道与第二流道的通口，护套设有与第二流道连通的进液口、以及与第一流道连通的避让孔；以及排液筒，排液筒设置于液槽的底壁上并穿设于避让孔，且排液筒的外壁与避让孔的孔壁密封配合，排液筒设有与第一流道连通的第一排液口以及与第一排液口连通的第二排液口，第二排液口位于液体流道的外部。上述的炉盖组件可以避免因受持续的高温而损坏或缩短使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 具有 碳化硅 晶体生长 | ||
【主权项】：
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