[实用新型]一种厂务气体供应系统及厂务系统有效
| 申请号： | 202120345984.2 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN215908866U | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 阙文峰;李秋茂;梁智澎 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02;F17D3/01;G08B21/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种厂务气体供应系统及厂务系统。厂务气体供应系统包括：气体供应装置、缓冲装置和监控装置；气体供应装置的输出端与缓冲装置的输入端通过第一管路连接，缓冲装置的输出端用于通过第二管路输出气体到机台设备；缓冲装置与所述监控装置连接，监控装置用于采集缓冲装置的参数，并在参数超过预设值时发出报警信号。本实用新型解决了利用阀门调节气体流量不方便的问题，达到了不用调节阀门即可稳定气体，减小气体波动，避免机台当机的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 供应 系统 | ||
【主权项】：
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