[实用新型]一种监测系统及检测机台有效
| 申请号： | 202120368720.9 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN215678076U | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 孙秉群;朱哲仪;黄君杰 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/94 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种监测系统及检测机台，所述监测系统包括信号发生模块、信号接收模块和信号处理模块，所述信号发生模块用于发射测试信号至一待测物，所述测试信号经所述待测物的表面反射后形成反射信号，所述信号接收模块用于接收反射信号，所述信号处理模块用于根据所述反射信号输出指示信号并判断所述待测物的表面上是否存在异物。本实用新型通过在检测机台内设置监测系统，实现对检测机台的自动化监测，避免人为目检误差，以便设备人员及时发现检测机台内的工作台表面存在异物，并对其进行处理，避免造成晶圆报废，减少生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 监测 系统 检测 机台 | ||
【主权项】：
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