[实用新型]一种刻蚀机的清洗机构及刻蚀机有效
| 申请号： | 202120372057.X | 申请日： | 2021-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN215785199U | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 赵赞良;解赵波;王肖肖;杨明明;安艳龙;张冬冬 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基乐叶科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 750021 宁夏回族自治区*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种刻蚀机的清洗机构和刻蚀机，用于硅片清洗，清洗机构包括至少两个滚轮组、喷淋管和喷淋罩；滚轮组包括相对平行成对设置的上滚轮和下滚轮，上滚轮和下滚轮之间形成硅片传输通道；喷淋管用于向硅片表面喷射清洗液；靠近清洗机构的出料端设置的滚轮组为压水滚轮组，用于将硅片表面残留液体挤压干净；沿着硅片传输通道，在压水滚轮组两侧形成进料区域和出料区域；喷淋罩设置于硅片传输通道上方并罩住压水滚轮组，喷淋罩设置有导流结构，用于将喷溅的清洗液引导至压水滚轮组的进料区域。本实用新型实施例提供的清洗机构，可以避免液体残留在硅片上，可以提升从压水滚轮组出料区域送出的硅片的干净程度，有助于提升硅片质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 清洗 机构 | ||
【主权项】：
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