[实用新型]一种晶圆片架有效
| 申请号： | 202120381650.0 | 申请日： | 2021-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN214777431U | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈康;刘四化;王宜;张啟涛 | 申请（专利权）人： | 无锡瑞达半导体专用设备有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/10;B65D85/86;B65D81/05;B65D25/20 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 毛洪梅 |
| 地址： | 214064 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆片架，包括晶圆片架主体，晶圆片架主体上均布设有晶圆片槽，每个晶圆片槽包括封闭弧形槽和两个直线槽，直线槽上设有限位孔；晶圆片架主体上还设有锁槽，锁槽中设有限位轴，限位轴上设有限位挡板和扇形限位片，限位挡板与限位孔匹配，扇形限位片上设有滑槽，滑槽中设有滑块，滑块设在推杆上，推杆设在限位环中，限位环设在锁槽上，扇形限位片的扇形边上设有锁定槽，锁定槽的尺寸与限位锁销匹配，限位锁销设在锁销轴上，锁销轴设在锁槽中，限位锁销上设有弹簧，弹簧另一端设在锁槽侧壁上，限位锁销和推杆的一端伸出锁槽，推杆和限位锁销上设有第一限位条和第二限位条，第一限位条和第二限位条上设有锁孔，锁孔中设有锁销。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片架 | ||
【主权项】：
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