[实用新型]一种双光点光路能量检测及自动补偿装置有效
| 申请号： | 202120403552.2 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN214443970U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 黄汉杰;杨伟林;王灿;庄景涛;张鑫;杨林杰 | 申请（专利权）人： | 友芯（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;G01M11/00 |
| 代理公司： | 厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市火炬高新区(*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及激光加工技术领域，特别涉及一种双光点光路能量检测及自动补偿装置，包括激光器；第一分光组件，设于激光器发出的光束的路径上；第二分光组件，设于第一分光组件与聚焦组件之间；聚焦组件，设于第三光束的路径上；载物台；检测组件，设于第一分光组件与第二分光组件之间；补偿组件，补偿组件设于激光器和第一分光组件之间，补偿组件与检测组件通信连接。通过设于第一分光组件与第二分光组件之间的检测组件和设于激光器和第一分光组件之间的补偿组件，解决了因无法对双光点光路能量进行检测，当两光束的能量不一致时，可能导致在加工过程中品质不一致，影响产品质量，降低生产率的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双光点光路 能量 检测 自动 补偿 装置 | ||
【主权项】：
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