[实用新型]一种光罩盒用载台结构

摘要

本实用新型公开了一种光罩盒用载台结构，包括本体、吹气装置、真空装置；本体包括容纳腔以放置光罩盒，容纳腔设置为顶部敞口；容纳腔的侧壁开设有通气孔，吹气装置通过通气孔与容纳腔的腔体联通；容纳腔的与开设所述通气孔的侧壁相对的侧壁开设真空孔，真空装置通过真空孔与容纳腔的腔体联通；容纳腔内未放置光罩盒时，吹气装置、真空装置同时打开以持续清洁容纳腔，因此，实现了自主自动清洁，且清洁效果更好，还可以减少或者不再需要定时人工清洁，进一步优化了清洁流程，节省了清洁时间。