[实用新型]一种新型干法刻蚀设备

摘要

本实用新型涉及刻蚀设备技术领域，具体为一种新型干法刻蚀设备，限位销与限位孔插接，限位孔内壁左右两端上侧均开有插口，插口上端贯通托盘，限位孔内壁中间开有一圈环形槽。在将限位销插入限位孔中时，通过对准侧块与插口插入，这样随着侧块垂直往下滑入环形槽内的时候，再转动限位销，此时可以带动侧块完全滑入环形槽内，这样通过弹簧上弹的弹力，可以将侧块弹着与环形槽内壁顶端紧贴，此时限位销卡在限位孔中，这样不仅提高了限位销插在限位孔中的稳定性，而且操作不难，便于工作人员进行操作，以解决限位销插在限位孔中，只是普通的插接关系，缺少对限位销的限位，导致存在限位销插在限位孔内不稳定的问题。