[实用新型]一种用于化学气相沉积装置的移动载具

摘要

本实用新型涉及一种用于化学气相沉积装置的移动载具，所属化学气相沉积设备技术领域，包括石英管，所述的石英管内设有与石英管相密封式插嵌的磁铁，所述的磁铁前端设有与石英管相套接的石英载片，所述的石英管的外壁设有与磁铁上下端相磁性吸合的铁环，所述的铁环与石英管相嵌套连接，所述的铁环下端设有电动滑轨，所述的电动滑轨与铁环间设有与电动滑轨相活动式插嵌连接的连接滑块。具有结构简单、兼容性好、稳定性高和使用效果好的特点。解决了化学气相沉积设备外接连通的问题。在不破坏化学气相沉积装置石英管中的真空环境的前提下，实现匀速或变速移动真空腔中样品。