[实用新型]化学气相淀积反应器

摘要

本实用新型公开了一种化学气相淀积反应器，包括反应平台，反应平台上对称设置有真空泵和清洗泵，反应平台上还设置有驱动电机，驱动电机的输出端设置有转动机构，反应平台上活动设置有呈圆周阵列分布的反应器主体，驱动电机被装配用于通过转动机构驱使反应器主体沿反应平台的水平面转动；反应器主体的一端设置有进气阀门，反应器主体的另一端设置有排气阀门，排气阀门的输出端设置有集气阀，集气阀的另一端连接有集气罐。该化学气相淀积反应器，可以在制备过程中，通过真空泵将混合气体输入至反应器主体内部进行反应，同时启动驱动电机驱使反应器主体沿反应平台的水平方向旋转，以便于清洗泵输入清洗液进行清洗。