[实用新型]视觉检测装置有效
| 申请号： | 202120437982.6 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN214334653U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 王辉 | 申请（专利权）人： | 京隆科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请揭示了一种视觉检测装置，包括一晶圆载盘、至少一光源模组、以及至少一影像撷取模组，晶圆载盘用于承载一晶圆，并具有复数开孔，开孔贯穿晶圆载盘；光源模组设置于晶圆载盘相对于承载晶圆的另一侧，光源模组对应于开孔，且能投射光线至开孔；影像撷取模组位于晶圆载盘承载晶圆的这一侧，用以撷取晶圆缘边的影像；借此，因光源模组提供光线经开孔投射出来，使影像撷取模组撷取的晶圆边缘影像更为清晰。 | ||
| 搜索关键词： | 视觉 检测 装置 | ||
【主权项】：
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