[实用新型]一种光刻机的温度变频调节装置

摘要

本实用新型公开了一种光刻机的温度变频调节装置，包括光刻箱，所述光刻箱的内部设置有光刻腔，所述光刻箱的内部上表面中心位置安装有控制器，所述光刻箱的两侧外壁上下均设置有通孔，所述通孔的内部安装有散热风扇，所述光刻箱的两侧外壁上下边缘处均设置有凹槽，所述凹槽的内部设置有限位块，所述限位块的外壁上设置有卡槽，所述凹槽的内壁上设置有安装槽，所述安装槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端与圆形卡块相连接，所述光刻箱的两侧内壁下方安装有横板。本实用新型可以快速对防尘板进行拆卸更换，提高了工作人员的工作效率，可以有效对光刻腔内部的温度进行调节，实用性强。