[实用新型]一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置有效
| 申请号： | 202120476163.2 | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN214400807U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 刘欣宇;袁振洲 | 申请（专利权）人： | 江苏超芯星半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36;F27D3/12 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 林霞 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市中国(江苏)自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅单晶生长炉自动装炉装置，包括车体，其中：所述车体底部固设有读码器，且所述读码器对铺设在工作区域地面上的二维码标识进行采集及识别；所述车体顶部设有自动升降装置，且所述自动升降装置顶部设有平衡托盘，本实用新型通过在车体上设置读码器和自动升降装置，使得车体能够基于铺设在工作区域地面上的二维码标识进行相应运动，并通过自动升降装置对带有生长热场的炉底板进行自动装炉和出炉，实现无需人工干预的出炉或装炉，节省人工成本，提高出装炉效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 生长 自动 装置 | ||
【主权项】：
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