[实用新型]适于质谱仪的抽真空系统有效
| 申请号： | 202120513856.4 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN214203608U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李向广;尚元贺;韩乐乐;曹洁茹;蔡克亚 | 申请（专利权）人： | 安图实验仪器（郑州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24 |
| 代理公司： | 郑州异开专利事务所(普通合伙) 41114 | 代理人： | 杜雪丽;王霞 |
| 地址： | 450016 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适于质谱仪的抽真空系统，包括第一抽气单元和第二抽气单元，第一抽气单元包括连通设置的分子泵和机械泵，且分子泵的抽气口与质谱仪的真空腔室相连通；第二抽气单元包括真空气路、进气阀和预抽阀，真空气路的一端与质谱仪的过渡腔室连通，真空气路的另一端分为两路，第一路通过进气阀与外界大气连通而其第二路通过预抽阀与真空腔室连通。本实用新型利用预抽阀实现了真空腔室和过渡腔室的连通，在抽真空时分子泵可通过真空腔室对过渡腔室间接抽取真空，实现了过渡腔室的快速预抽，大大缩短了样品了进样等待时间，提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 适于 质谱仪 真空 系统 | ||
【主权项】：
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