[实用新型]一种COF制程蚀刻液自主回收系统及蚀刻系统有效
| 申请号： | 202120520075.8 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN214400728U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 陈文勇;左长云;张明超 | 申请（专利权）人： | 合肥颀中材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种COF制程蚀刻液自主回收系统及蚀刻系统，包括蚀刻上单元、蚀刻下单元、回收单元、第一造液单元、第一添加剂原液单元、第二添加剂原液单元、酸原液单元、第一送液单元、第二送液单元、第二造液单元和强氧化剂原液单元，蚀刻上单元与蚀刻下单元通过管道连接。本实用新型大大减少了高成本的蚀刻添加剂的使用，控制了药液成本，同时减少了对环境的影响和废液处理的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cof 蚀刻 自主 回收 系统 | ||
【主权项】：
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