[实用新型]一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件有效
| 申请号： | 202120537708.6 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN216445454U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 王君 | 申请（专利权）人： | 宁波赉晟新材料科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184 | 代理人： | 段晓微 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件，内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布，并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上，下托盘位于内外挡圈下方，从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹，可以大范围适应不同规格的片状零件要求，模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量，同时提供快速散热通道，夹具内部大面积无障碍气流通道，散热效果显著，此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作，可大大的降低生产制造费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 片状 工件 镀膜 用装夹 单元 组件 | ||
【主权项】：
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