[实用新型]一种反应源加热装置有效
| 申请号： | 202120546815.5 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN214429738U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 李湘林;钟权平 | 申请（专利权）人： | 东莞纳锋微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/40 | 分类号： | H05B3/40;H05B3/02 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及加热技术领域，尤其是指一种反应源加热装置，包括反应源瓶，还包括加热器、金属热反射板以及反应源控制阀门，所述金属热反射板套设于所述加热器的外周并与加热器同轴设置，所述金属热反射板的内壁与加热器的外壁之间设置有隔热层，所述加热器内开设有用于放置所述反应源瓶的容置腔，所述反应源控制阀门用于控制反应源瓶内物质的输出与否；所述金属热反射板开设有第一过孔，所述反应源控制阀门的外壁与所述第一过孔的孔壁贴合。本实用新型提供的一种反应源加热装置，使加热器内发热均匀同时保证反应源瓶、阀门等温场按需求均匀分布。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反应 加热 装置 | ||
【主权项】：
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