[实用新型]晶圆载具的存储装置有效
| 申请号： | 202120570954.1 | 申请日： | 2021-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN213355191U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 邓群;王崇林;陈定操 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B65D19/06 | 分类号： | B65D19/06;B65D19/38;B65D85/86 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王运佳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆载具的存储装置。本申请实施例的存储装置包括：支撑板，包括沿第一方向连续设置的第一端部、主体部和第二端部；垫块，固定于第一端部的下侧以使支撑板整体倾斜设置，第一端部高于第二端部；止挡块，固定于第二端部的上侧；两个限位板，固定于主体部的上侧并沿第二方向间隔设置，第二方向垂直于第一方向；多个传动组件，设置于两个限位板之间并沿第二方向间隔设置，各传动组件包括沿第一方向布置的多个滚轮，各滚轮可转动地连接于主体部，各滚轮至少部分凸出于主体部的上表面并用于支撑晶圆载具。在各传动组件中，沿靠近第二端部的方向，多个滚轮的高度逐渐降低。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆载具 存储 装置 | ||
【主权项】：
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