[实用新型]一种碳化硅晶棒粘接装置有效

专利信息
申请号: 202120576595.0 申请日: 2021-03-22
公开(公告)号: CN215039109U 公开(公告)日: 2021-12-07
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00
代理公司: 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 代理人: 曹徐婷
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种碳化硅晶棒粘接装置,属于晶体定向粘料设备技术领域。本实用新型包括底座、立柱和横梁,所述底座上固定安装有两根立柱,横梁与两根立柱配合安装,横梁与立柱构成“门形架”结构,所述横梁的中心位置安装有定位锥,定位锥的两侧分别安装有第一千分表和第一调整顶针,横梁的中心位置还安装有纵向支座,纵向支座的上端安装有第二调整顶针,纵向支座的下端安装有第二千分表,所述底座上安装有两条平行设置的滑轨,滑轨上滑动安装有四个滑块,滑块上安装有滑座板。本实用新型的设计结构巧妙、安装方便、适于推广使用。
搜索关键词: 一种 碳化硅 晶棒粘接 装置
【主权项】:
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