[实用新型]一种用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构有效
| 申请号： | 202120597239.7 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN214458279U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 吕磊;李维维;刘胜芳;赵铮涛;许嵩;李雪原 | 申请（专利权）人： | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人： | 曹政 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于蒸镀的旋转式线性蒸发源结构，具有：基板；坩埚，能够放置在基板上，坩埚内能够放置物料；蒸发源，其为长条形，蒸发源内设有加热丝；蒸发源至少设有两条；旋转轴，第一端与蒸发源连接；电机，其转轴与旋转轴的第二端连接，提高镀膜厚度均一性和混合均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 旋转 线性 蒸发 结构 | ||
【主权项】：
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