[实用新型]一种用于掩膜板干燥的多功能装置

摘要

本实用新型公开了一种用于掩膜板干燥的多功能装置，包括干燥箱体，待干燥的掩膜板置于干燥箱体内部，所述干燥箱体侧面设有箱门，干燥箱体内设有用于干燥掩膜板的干燥机，干燥机与外部的控制柜连接，所述干燥箱体的上、下内壁及与箱门对立的侧壁上分别设有上板、下板和后板，各板上间隔设有多个用于放置掩膜板的条形凹槽，上板与下板之间的凹槽相对设置且凹槽沿着掩膜板进入箱体的方向，后板上的凹槽方向与上板的凹槽垂直，干燥箱体顶面和箱门对立面分别设有用于驱动上板、后板移动的电液压杆，电液压杆与控制柜连接。本实用新型提高了掩膜板干燥后产品良率，能干燥多种尺寸的掩膜板，生产效率高，成本低。