[实用新型]一种多晶硅还原炉底盘绝缘装置有效
| 申请号： | 202120603169.1 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN215048690U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 杨永升;赵小飞 | 申请（专利权）人： | 新疆东方希望新能源有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 何祖斌 |
| 地址： | 831100 新疆维吾尔*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型属于多晶硅生产设备技术领域，具体涉及一种多晶硅还原炉底盘绝缘装置。其技术方案为：一种多晶硅还原炉底盘绝缘装置，包括底盘，底盘内内设置有电极，电极的另一件套设有石墨件，电极内设置有电极水冷腔，底盘内设置有底盘水冷腔；所述电极插入底盘的部分套设有四氟套，四氟套与底盘之间设置有氮化硅绝缘磁环。本实用新型提供了一种绝缘效果好的多晶硅还原炉底盘绝缘装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 底盘 绝缘 装置 | ||
【主权项】：
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