[实用新型]一种晶圆上下料设备

摘要

本实用新型涉及了一种晶圆上下料设备，包括上料设备、下料设备、晶圆感应装置、上下料主控装置以及电机装置；其中，上料设备包括上料输送带以及人工质检工位；上料输送带包括互连的第一输送段以及第二输送段，第一输送段与第二输送段两者呈一夹角、且第二输送段与回流焊设备的输入端连接；人员质检工位设于上料输送带靠近人员的位置处；下料设备包括下料输送带，下料输送带与回流焊设备的输出端连接；晶圆感应装置包括：第一传感器，设于第一输送段的输入端；第二传感器，设于人员质检工位处；以及第三传感器，设于下料输送带的输出端。通过上述设置，可解决目前晶圆加工产线中人工送料带来的不良品率高、送料效率低的问题。