[实用新型]一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置

摘要

本实用新型公开了一种SF6气体红外探测芯片用金属蒸镀装置，涉及到金属蒸镀装置领域，包括箱体，所述箱体的一端设置有活动门，所述箱体的内部顶端设置有圆盘，所述圆盘的顶端中部通过转轴和轴承与箱体的顶端内壁活动连接。本实用新型通过设置两个有第二环形板，第二环形板的两端分别与圆盘和第一环形板固定连接，行星锅位于第二环形板内部，通过第一伺服电机带动圆盘转动，进而使第二环形板随之转动，使第二环形板内部的行星锅做公转运动，通过在行星锅的一端设置有固定板和安装板，安装板两端通过支撑柱与圆盘和第一环形板固定，通过第二伺服电机带动行星锅在第二环形板内部自转，大大的提高了本装置运行时行星锅的稳定性。