[实用新型]一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构有效
| 申请号： | 202120642400.8 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214933821U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张明德;汤家云;刘庆峰 | 申请（专利权）人： | 扬州国兴技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/82 | 分类号： | B65G47/82 |
| 代理公司： | 江苏海联海律师事务所 32531 | 代理人： | 倪章勇 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子处理单槽台车过渡板的推送结构，包括过渡板和转接板，利用过渡板位移伺服器先连接过渡板，并带动过渡板自动滑动后，再利用推杆伺服器推动U型推杆，将单槽台车推入等离子处理腔体，整个过程由控制系统控制两个伺服器完成过渡板和单槽台车的所有动作，辅助实现了等离子处理系统前输送待处理基板的全自动化操作，提高了等离子处理系统的效率，实现全自动化系统处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 台车 过渡 推送 结构 | ||
【主权项】：
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