[实用新型]一种探针卡调节装置有效
| 申请号： | 202120650991.3 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN214622935U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 傅智云 | 申请（专利权）人： | 无锡紫电半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区新泰路8号江苏国际技术转移中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针卡调节装置，其无需检测者手持探针卡，即可实现探针卡多个方位的自动调节，调节操作方便快捷，可提高检测效率和检测准确性，其包括底座、安装于底座上的探针卡调节机构、薄膜调节机构、显微镜，探针卡调节机构包括用于放置探针卡的探针卡放置槽、带动探针卡放置槽X向移动、Z向移动及横向旋转的探针卡驱动机构，薄膜调节机构包括用于固定薄膜的薄膜固定件、带动薄膜固定件X向移动、Y向移动及纵向旋转的薄膜驱动机构，薄膜固定件位于探针卡放置槽的上方，显微镜位于薄膜固定件的上方，显微镜的镜头依次对应薄膜、探针卡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 调节 装置 | ||
【主权项】：
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