[实用新型]一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件

摘要

本实用新型公开了一种12寸晶圆化学气相淀积氮化钛腔体颗粒改善套件，具体涉及工艺腔体技术领域，包括排气管，所述排气管的数量为若干个，相邻的两个所述排气管之间通过法兰固定连接，所述排气管的内壁设有套筒组件。上述方案中，通过设置所述干泵的FORLINE新型保护套，使得很好的保护了FORLINE的连接口，新型保护套在表面内筒表面都使用喷砂，具有一定的粗糙度，且表面粗糙度均匀，使得颗粒都可以黏附在上面，不容易掉落，在从干泵切换到分子泵抽腔体时产生的向上的反冲，由于颗粒被吸附在保护套内壁表面，颗粒不会反冲上去，使得腔体的晶圆不受到颗粒沾污，从而避免了晶圆颗粒超标报废，提高了晶圆的良率和设备的使用率。