[实用新型]一种抛光液配比监测装置有效
| 申请号： | 202120679972.3 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN214538039U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王志荣;傅文越 | 申请（专利权）人： | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01N33/00 |
| 代理公司： | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人： | 沈相权 |
| 地址： | 311201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种抛光液配比监测装置，所属抛光液配比设备技术领域，包括原液桶，所述的原液桶一侧端设有纯水桶，所述的原液桶一侧端设有混合桶，所述的混合桶与纯水桶间、混合桶与原液桶间设有预配比桶，所述的预配比桶与纯水桶间、预配比桶与原液桶间均设有配比管，所述的配比管上设有流量传感器，所述的流量传感器侧端设有与配比管相法兰式管路连通的气动球阀，所述的预配比桶侧边设有与预配比桶相连通的PH检测器，所述的混合桶与预配比桶间设有抽液管。具有结构简单、稳定性好、实时配比监测和操作便捷的特点。提高多晶硅的平坦效率和抛光残留物的去除效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 配比 监测 装置 | ||
【主权项】：
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