[实用新型]晶体生长用高精度数字式感应加热电源有效
申请号: | 202120689097.7 | 申请日: | 2021-04-06 |
公开(公告)号: | CN215647447U | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 李南坤 | 申请(专利权)人: | 巴玛克电气设备(上海)有限公司 |
主分类号: | H05B6/04 | 分类号: | H05B6/04;H05B6/06 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 徐俊;柏子雵 |
地址: | 201799 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种晶体生长用高精度数字式感应加热电源,包括主回路及控制回路,其特在于,内部开关电源SPOW的输出端与DSP主控制板以及高精度数字式电流、电压、功率采集板相连的供电端相连,高精度数字式电流、电压、功率采集板的数字信号输出端连接DSP主控制板,DSP主控制板还连接显示和按键单元以及IGBT隔离驱动板,IGBT隔离驱动板连接全桥逆变电路。本实用新型提供了一种专为晶体生长设计的高精度型数字是感应加热电源,除了采用DSP控制器和CPLD进行全数字式控制以外,电源内设计有高精度电流、电压、功率采集板,具有高精度、高稳定性控制输出功率和输出电流的能力,满足晶体生长对温场稳定性的要求。 | ||
搜索关键词: | 晶体生长 高精度 数字式 感应 加热 电源 | ||
【主权项】:
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