[实用新型]一种等离子体处理设备

摘要

本申请实施例提供一种等离子体处理设备，包括安装基座、室体组件、盖组件以及进气管。室体组件安装于安装基座。盖组件与室体组件围设成工艺腔，盖组件与室体组件可拆卸连接。进气管的一端与室体组件连接，进气管配置为经室体组件向工艺腔供气。由于进气管与室体组件连接并经室体组件向工艺腔供气，进气管中的气流不会从盖组件进入工艺腔，盖组件与进气管之间不存在气体泄漏的问题。当需要进行设备维护对室体组件内部进行清洁，在盖组件从室体组件上拆下的过程中，不涉及进气管在密封位置处的拆装，在一定程度上提高了工艺腔的密封性，降低了因密封圈更换而增加的成本。