[实用新型]一种真空发生装置有效
| 申请号： | 202120694835.7 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN215365957U | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 陈举强 | 申请（专利权）人： | 佛山市取胜真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 余菲 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区丹灶镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供一种真空发生装置，涉及真空镀膜技术领域。真空发生装置，包括螺杆泵组件、罗茨泵组件、油扩散泵组件、第一抽气管路和第二抽气管路；螺杆泵组件包括第一螺杆泵和第二螺杆泵，第一螺杆泵和第二螺杆泵平行设置，第一螺杆泵连通第一抽气管路，第二螺杆泵连通第二抽气管路；罗茨泵组件包括第一组罗茨泵和第二组罗茨泵，第一组罗茨泵设置在第一螺杆泵的上方，第一组罗茨泵连通第一抽气管路，第二组罗茨泵设置在第二螺杆泵的上方，第二组罗茨泵连通第二抽气管路；油扩散泵组件包括多个油扩散泵，多个油扩散泵的排气口依次与第一抽气管路连接。该真空发生装置结构紧凑，具有抽气效率高、降低占地面积和维护方便快捷的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 发生 装置 | ||
【主权项】：
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