[实用新型]一种超高真空低温三维物镜致动装置

摘要

本实用新型涉及精密致动技术领域，具体而言，涉及一种超高真空低温三维物镜致动装置，包括：物镜部件、第一纵向调节机构、第二纵向调节机构、多个横移机构和底座，所述第一纵向调节机构设置在所述物镜部件的底部，且用于带动所述物镜部件上移或下移；所述第二纵向调节机构的内腔中部设置有第一纵向调节机构；所述多个横移机构设置在所述第二纵向调节机构的底部；以及所述底座设置在所述多个横移机构的底部，所述多个横移机构以所述底座的中心呈环形矩阵分布，本实用新型通过在所述底座上设置多个用于带动所述第二纵向调节机构水平移动的横移机构，进而使所述物镜部件能够精准且大范围地实现水平移动，极大地提高了使用便捷性和工作效率。