[实用新型]一种晶圆自动贴DAF膜装置

摘要

一种晶圆自动贴DAF膜装置，包括DAF膜分离装置和DAF膜粘贴装置；所述DAF膜分离装置包括放料卷轴、收料卷轴、主滚筒和分离刀，所述放料卷轴分别与收料卷轴、主滚筒传动连接，且所述放料卷轴与收料卷轴同向转动，所述放料卷轴与主滚筒反向转动，所述放料卷轴和收料卷轴中的一个与动力装置连接；所述DAF膜粘贴装置设于DAF膜分离装置的下方，且所述DAF膜粘贴装置可以从主滚筒下方伸出和收回，所述DAF膜粘贴装置包括吸盘，所述吸盘的外形和尺寸与晶圆的对应。此晶圆自动贴DAF膜装置不仅可以自动地把离型膜和DAF膜分离，而且能够将DAF膜精确地粘贴在晶圆和支撑圈上，降低了工人的劳动强度，提高了生产效率。