[实用新型]一种半导体加工用夹持稳固的切割装置有效

专利信息
申请号: 202120719643.7 申请日: 2021-04-09
公开(公告)号: CN214542179U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 徐州盛科半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221400 江苏省徐州市新沂*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种半导体加工用夹持稳固的切割装置,涉及到半导体切割领域,包括切割装置本体,所述切割装置本体本体上设有放置盘,放置盘上设有半导体圆盘,所述放置盘上固定安装有四个L型杆,四个L型杆上均活动安装有挤压板,四个挤压板上均固定安装有活动杆,四个活动杆上均活动安装有固定块,四个固定块上固定安装有同一个压力板。本实用新型,通过挤压板的设置,在使用切割装置本体时,即使机械臂在上下料移动放置盘的过程中,放置盘产生了晃动,挤压板也会将半导体圆盘牢牢地固定住,从而避免了由于半导体圆盘位置偏移,造成半导体圆盘的切割位置出错,导致一整块半导体圆盘报废,从而保证不会受到经济上的损失。
搜索关键词: 一种 半导体 工用 夹持 稳固 切割 装置
【主权项】:
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