[实用新型]熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202120727826.3 申请日: 2021-04-12
公开(公告)号: CN214612727U 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 宋永宾;宋欣怡 申请(专利权)人: 青岛优百宇真空设备股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/06;C23C14/50;C23C14/56;H01L31/18
代理公司: 重庆壹手知专利代理事务所(普通合伙) 50267 代理人: 彭啟强
地址: 266000 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了熔融盐泵薄膜铜铟镓硒吸收层共蒸发镀膜设备,包括镀膜仓、降温机构、运动机构、蒸发机构与过滤组件,所述镀膜仓一侧内壁焊接有轴承、且镀膜仓另一侧内壁开设有转动孔,所述轴承一端焊接有连接杆,所述转动孔转动连接有转动杆,且转动杆与连接杆一端均焊接有固定机构,所述固定机构包括焊接于转动杆与连接杆一端的“C”字形固定板。本实用新型通过在镀膜仓内壁设置轴承,轴承一端焊接连接杆,连接杆与转动杆一端的固定机构对需要镀膜的膜片进行固定,需要固定时转动旋钮,带动夹持板下压,使固定更加牢固,夹持板外壁与“C”字形固定板底部内壁的海绵板与膜片接触,在进行固定的同时,能够避免对膜片外表面造成损伤。
搜索关键词: 熔融 薄膜 铜铟镓硒 吸收 蒸发 镀膜 设备
【主权项】:
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