[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号： | 202120737590.1 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN215050635U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 王浩;王金彬;朱凯;祝晓钊;冯敏强 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 吴竹慧 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜板，包括基材，所述基材包括全蚀刻开口区、半蚀刻减薄区，包括凸设于所述半蚀刻减薄区一侧的加强柱，及凸设于所述半蚀刻减薄区另一侧的支撑柱，所述支撑柱用于贴合支撑待蒸镀基板。本实用新型中的掩膜板，在掩膜板顶部凸设支撑柱，减少接触面积，有效防止了蒸镀过程中残留的颗粒对掩模板或蒸镀产品造成损伤的情况的发生，提高了蒸镀良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
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