[实用新型]用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构有效
| 申请号： | 202120738129.8 | 申请日： | 2021-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN213378315U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 钟锋;刘芹康 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司;台积电（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本申请提出了一种用于化学气相沉积系统的气体管道清洗机构，包括壳体、输送泵和第一管道。壳体包括彼此隔离的安装腔和洗液腔，洗液腔用于容纳清洗液；输送泵，设置于安装腔内，输送泵包括进液端和出液端，进液端与安装腔连通，用于吸取清洗液；第一管道第一管道的一端与出液端连通，另一端设有与气体管道的进液口适配的管道接口。相比手动挤压喷壶，输送泵输送清洗液的流动速度较为平稳，气体管道受力较为均匀；并且管道接口与气体管道的进液口适配，密闭性较好。因此，气体管道清洗机构不容易出现清洗液泄漏的现象，不容易出现腐蚀操作人员的手部和造成机台停止运行的风险的现象，进而提高了操作人员的安全性，增强了机台的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 沉积 系统 气体 管道 清洗 机构 | ||
【主权项】：
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