[实用新型]一种用于磁控溅射的防热变形装置有效
| 申请号： | 202120743297.6 | 申请日： | 2021-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN215209604U | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘文龙;王斌;张明华 | 申请（专利权）人： | 苏州晶博特镀膜玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及磁控溅射成膜技术的领域，尤其是涉及一种用于磁控溅射的防热变形装置，其包括腔室，所述腔室内设有两个位于基材和靶材两侧的挡管，所述挡管的两端均设有封堵板，所述封堵板与挡管共同形成导热腔。本申请在腔室内设置的挡管能够对低能粒子进行阻挡，导热腔内设置的水能够对挡管上的热量进行吸收，同时能够将热量在挡管上快速分散，有效降低了挡管发生热变形的可能性，从而能够提升磁控溅射成膜的成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁控溅射 防热 变形 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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