[实用新型]具有温度梯度的双均温区氮化镓热场

摘要

本实用新型涉及热场，具体是一种具有温度梯度的双均温区氮化镓热场，包括炉体外壳、上均温区、下均温区，其技术要点是：所述上均温区包括嵌装于炉体外壳内壁中的多个上加热模块、相邻两个上加热模块之间、上加热模块与炉体外壳之间布置的多个上热电偶，所述下均温区包括嵌装于炉体外壳内壁的多个下加热模块、相邻两个下加热模块之间、下加热模块与炉体外壳之间布置的多个下热电偶，多个所述上加热模块、多个所述下加热模块连接有可调节功率的外部加热电源，所述上均温区与下均温区之间还布置有散热区，所述散热区包括在炉体外壳内部布置有对向开设有冷却水入口通道、冷却水出口通道的环形冷却水通道。其结构简单，解决了产品质量下降的问题。