[实用新型]一种化学气相沉积用石英舟

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积用石英舟，包括两个石英舟侧板，两个所述石英舟侧板呈对称设置，两个石英舟侧板之间一体式设置有四个第一支撑柱，第一支撑柱的圆周外壁均开设有均匀分布的第一舟槽，所述第一支撑柱呈圆周分布；所述石英舟侧板呈等腰梯形结构，所述石英舟侧板一侧外壁开设有滑槽，滑槽呈螺旋状结构。本实用新型通过设置滑槽和提拉杆，能够根据实际需求将提拉杆的两端同时滑动于滑槽内，实现对提拉杆的拆装，且提拉杆的两端可活动于滑槽内，因此，当提拉杆角度偏移时，石英舟在重力的作用下与提拉杆两端发生相对角度变化，使石英舟仍能够保持稳定，有效避免了石英舟内物体脱出，提升了可靠性。