[实用新型]一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置有效
| 申请号： | 202120764296.X | 申请日： | 2021-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN214980195U | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 柯振芳 | 申请（专利权）人： | 金溪县东启机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/12 | 分类号： | B24B37/12;B24B37/34;B24B47/12;B24B55/06;B24B55/02 |
| 代理公司： | 南昌明佳知识产权代理事务所(普通合伙) 36132 | 代理人： | 苏彦江 |
| 地址： | 344899 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种晶圆研磨盘单面放置冷铁装置，包括研磨盘、固定环、研磨棒、环形固定件、进气头、出气头、连接管、抽气机、推盘、限位滑块和电机；研磨盘上设有散热槽和散热腔，且散热腔和散热槽连通；研磨棒滑动设置在研磨盘上并位于散热槽内，且研磨棒伸出研磨盘的底端；固定环滑动设置在研磨盘上并抵住研磨棒，且固定环通过锁紧件与研磨盘固定；环形固定件上设有限位环，研磨盘滑动设置在环形固定件上；进气头和出气头设置在环形固定件上并与交换腔连通，且出气头通过连接管与抽气机连通；限位滑块设置在推盘上并与环形固定件连接，电机通过连接键与研磨盘连接。本实用新型方便更换拆卸，节约资源降低成本且更加环保；不易损坏晶圆；提高了散热效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 单面 放置 装置 | ||
【主权项】：
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