[实用新型]一种光刻胶回收系统有效
| 申请号： | 202120777892.1 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN215085059U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 夏俭波;李青桦;陈志刚;徐鹏飞 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D19/02 | 分类号： | B01D19/02;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 周耀君 |
| 地址： | 312000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光刻胶回收系统，包括气源、光刻胶存储容器、第一管道、气泡排除单元、缓冲回收容器、回收管道和排出管道；气源与光刻胶存储容器连通，用于将光刻胶存储容器中的光刻胶压入第一管道中；光刻胶存储容器通过第一管道与气泡排除单元连通；气泡排除单元包括气泡排除管道，气泡排除管道用于排出光刻胶中的气泡；气泡排除管道的末端与缓冲回收容器的顶部连通；气源与缓冲回收容器连通，排出管道的一端与缓冲回收容器的顶部连通，另一端用于排出缓冲回收容器中的气泡；缓冲回收容器的底部通过回收管道与光刻胶存储容器的顶部连通。本实用新型提供的光刻胶回收系统可以解决现有技术中Track机台在排泡操作时造成大量的光刻胶浪费的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 回收 系统 | ||
【主权项】：
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