[实用新型]一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构

摘要

本实用新型公开一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，包括运输装置、定量位移装置和输送装置，所述输送装置的一端固定有第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端和输送装置固定连接，所述定量位移装置包括固定板和限位块，所述固定板固定在输送装置的一侧，所述限位块等距固定在固定板的上端，所述固定板的一端固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定有转动架，本实用新型采用定量位移装置用于控制石墨舟在传送过程中停止，添加石墨后重新进行运输，通过定量位移装置能够控制石墨舟以相同的间距和间隔时间移动，这样机械手在进行添加石墨时能够更方便，能够有效加快设备内部石墨在石墨舟的添加和运输。