[实用新型]一种探针卡探针研磨装置有效
申请号: | 202120790021.3 | 申请日: | 2021-04-14 |
公开(公告)号: | CN214603745U | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
发明(设计)人: | 傅智云 | 申请(专利权)人: | 无锡紫电半导体有限公司 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;B24B37/27;B24B37/34;B24B19/16 |
代理公司: | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人: | 朱晓林 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区新泰路8号江苏国际技术转移中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种探针卡探针研磨装置,其可实现探针卡探针的自动研磨,可提高研磨效率,同时可对探针卡针尖的研磨长度进行控制,可提高成品质量,其包括基座、布置于基座的固定机构、升降机构、水平移动机构、研磨台,固定机构用于固定探针卡,升降机构包括升降台、驱动升降台升降的第一电机,水平移动机构包括移动台、驱动移动台移动的第二电机,水平移动机构固定于升降台,研磨台固定于移动台,研磨台用于对探针卡上的探针进行研磨,升降机构的一侧布置有位移传感器,位移传感器、第一电机、第二电机均与控制器电连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 探针 研磨 装置 | ||
【主权项】:
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