[实用新型]一种靶材背板有效
| 申请号： | 202120797891.3 | 申请日： | 2021-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN215103499U | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈琛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种靶材背板，所述靶材背板包括背板本体；所述背板本体上设置有沉孔；所述靶材背板还包括与所述沉孔相适配的绝缘支撑柱；所述绝缘支撑柱的高度高于沉孔的深度；所述靶材背板中绝缘支撑柱通过与沉孔过渡配合紧配在一起，且绝缘支撑柱突出一定高度，能够有效解决靶材使用时变形导致的配套金属部件与靶材背板接触的短路问题，从而有效降低了电弧现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 | ||
【主权项】：
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