[实用新型]一种新型的扩散炉进炉舟架有效
| 申请号： | 202120810086.X | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214937971U | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张婷婷;范晓波;何杉 | 申请（专利权）人： | 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14;C30B29/06;H01L21/673 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 彭冬英 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型的扩散炉进炉舟架，包括挡板、支脚、舟槽a、舟槽b，所述支脚中部左右两端各设有一个凹槽，所述支脚两端向下凸起高于中部，所述两支脚平行设置中间通过两个舟槽连接，所述两支脚顶部各设有一块挡板。本实用新型使扩散炉进炉舟架可以独立放置于扩散炉炉膛内，舟架两末端有比较高的挡板；这样，硅片在高温掺杂扩散时，炉膛内放置的东西变少了，减少了其他杂质源的存在，扩散炉的洁净度提高了，硅片的寿命也提高了，而且，硅片在扩散时，舟架下方减少了舟铲的阻挡，杂质气流在高温扩散的时候可以更多的从下方进入对硅片进行扩散，近似于弥漫性扩散，提高了器件的均匀性，改善了器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 扩散 炉进炉舟架 | ||
【主权项】：
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