[实用新型]一种新型的扩散炉进炉舟架有效
申请号: | 202120810086.X | 申请日: | 2021-04-20 |
公开(公告)号: | CN214937971U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 张婷婷;范晓波;何杉 | 申请(专利权)人: | 西安派瑞功率半导体变流技术股份有限公司 |
主分类号: | C30B31/14 | 分类号: | C30B31/14;C30B29/06;H01L21/673 |
代理公司: | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人: | 彭冬英 |
地址: | 710077 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种新型的扩散炉进炉舟架,包括挡板、支脚、舟槽a、舟槽b,所述支脚中部左右两端各设有一个凹槽,所述支脚两端向下凸起高于中部,所述两支脚平行设置中间通过两个舟槽连接,所述两支脚顶部各设有一块挡板。本实用新型使扩散炉进炉舟架可以独立放置于扩散炉炉膛内,舟架两末端有比较高的挡板;这样,硅片在高温掺杂扩散时,炉膛内放置的东西变少了,减少了其他杂质源的存在,扩散炉的洁净度提高了,硅片的寿命也提高了,而且,硅片在扩散时,舟架下方减少了舟铲的阻挡,杂质气流在高温扩散的时候可以更多的从下方进入对硅片进行扩散,近似于弥漫性扩散,提高了器件的均匀性,改善了器件性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 扩散 炉进炉舟架 | ||
【主权项】:
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