[实用新型]一种铜制程用剥离液的高效制备装置有效

专利信息
申请号: 202120816401.X 申请日: 2021-04-21
公开(公告)号: CN214862795U 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 戈烨铭;何珂;汤晓春 申请(专利权)人: 江阴润玛电子材料股份有限公司
主分类号: B01F7/18 分类号: B01F7/18;B01F3/22;B01F15/02;B01F15/06;G03F7/42
代理公司: 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 代理人: 张琪
地址: 214423 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种铜制程用剥离液的高效制备装置,属于剥离液的制备技术领域。包括分别与混合罐进口连接的醇醚储罐、有机溶剂储罐、缓蚀剂储罐、表面活性剂储罐、去离子水储罐和顺次连接的混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐,所述混合罐的内壁上设置有环形凸起,所述环形凸起上设置有导流盘,所述导流盘的中心位置为圆锥凸起,所述导流盘的边侧为向内带有坡度的导流环,圆锥凸起的外侧与导流环的内侧之间间隔形成导流通道,所述导流通道的底面连通导流管,所述导流管的内径从上到下逐渐减小,所述导流管的管壁上均匀的设置有多个孔洞,所述混合罐内还设置有搅拌装置。本实用新型结构简单,使各个组分原料充分搅拌混合,缩短了生产所需的时间。
搜索关键词: 一种 铜制 剥离 高效 制备 装置
【主权项】:
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