[实用新型]一种半导体设备L型真空阀门有效
| 申请号： | 202120817433.1 | 申请日： | 2021-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN215059989U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 胡开鹏;张魁榜;齐英;陈林 | 申请（专利权）人： | 四川九天真空科技股份有限公司;川北真空科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F16K51/02 | 分类号： | F16K51/02;F16K27/00;F16K31/122;F16K35/02;F15B15/14;F15B15/20;F15B15/24;F15B15/26 |
| 代理公司： | 成都嘉企源知识产权代理有限公司 51246 | 代理人： | 胡建超 |
| 地址： | 637200 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备L型真空阀门，包括阀板、运动件和运动导轨件，阀板与阀杆连接，阀杆与运动件连接；安装板内部设置有两条独立完整的气路，安装板的下部安装着第一气缸和第二气缸，两个气缸的气路通过安装板内部的两条气路连接贯通，气缸的内侧设置有机械限位气缸，第一气缸和第二气缸的活塞杆连接着底板，底板连接着两个运动导轨件，运动导轨件侧面设置有第一导轨槽，第一导轨槽与机械限位气缸配合进行限位，运动导轨件另一面设置有两个弧线槽，弧线槽与运动件上的固定件配合运动。本实用新型整体结构简单，部件损耗低，维护成本低，密封的稳定性和持久性高，操作安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 真空 阀门 | ||
【主权项】：
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