[实用新型]一种分子泵防护网及具有其的分子泵有效
| 申请号： | 202120819255.6 | 申请日： | 2021-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN214617240U | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 陈林;邓高飞;何通 | 申请（专利权）人： | 中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D29/70 | 分类号： | F04D29/70;F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 637000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵防护网及具有其的分子泵。分子泵防护网，包括：网本体，具有适于安装在分子泵泵壳上的连接部；锥形件，锥形件的底边与网本体固定连接，网本体围绕在锥形件的四周，且锥形件的轴线与网本体垂直设置。开启分子泵，分子泵运行开始抽气，气体在经过分子泵入口时，会与锥形件发生碰撞并改变气体的流动路径，使得抽取到无效区域的气体能够流动至有效区域并进入到分子泵内。通过锥形件的碰撞，将无效区域的气体碰撞到会影响分子泵抽速的有效区域，进而增加有效区域的气体量，从而减小分子泵在安装防护网后的抽速损失，提高分子泵在安装防护网后的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 防护 具有 | ||
【主权项】：
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